خرید و دانلود نسخه کامل مقاله کامل یون گیری واکنشی

مقاله کامل یون گیری واکنشی

مقدمه :
یون گیری واکنشی- PECVD- Ashing- پراکنده کردن مایعات- شیمی پلاسمایی- فیزیک پلاسما- عکس العمل سطوح نسبت به یکدیگر
سخنران: Herbert H.Sawin
پروفسور مهندسی شیمی و مهندسی برق و علوم کامپیوتر از مؤسسه علم و صنعت ماساچوست (MIT)، شهر کمبریج، MA
پیشنهادهای فهرست شده سمینار: July 8-12,2002کمبریج، ماساچوست
ارزیابی های سمینار
معرفی سمینار
طرح کلی سمینار
شرح حال و تحقیقات جاری هرب ساوین
زمینه ها و خصوصیات خواسته شده از ثبت نام کنندگان
روند کار و نوع سمینار
اطلاعات برای ذخیره جا در هتل
اطلاعات ثبت نام
آموزش در سایت
یادداشتهای نمونه سمینار
مقالات اخیر ساوین
تماس ها برای سوالات
ثبت نام در وب سایت
اطلاعات ناحیه بوستون
سوابق آقای ساوین
1-معرفی
فیزیک پلاسما
فرآیند ریزالکترونیک
2-سیفتیک گازی (Gas Kinetics)
مدل سیفتیک گازی
مدل توزیع ماکسول- بولتزمن
مدل گازی ساده شده
محتوای انرژی
نرخ برخورد بین مولکولها
مسیر آزاد
سیالیت عددی ذرات گاز روی یک سطح
فشار گازی
خواص انتقال
جریان گاز
وضعیت سیال
رسانایی رساناها
احتمال برخورد
پراکندگی گاز- گار
پراکندگی ذره از یک آرایش ثابت
انتشار ارتجاعی
برخورد غیر ارتجاعی
نمونه های فرآیندهای برخورد غیر ارتجاعی
عکس العمل های فاز- گازی
3-فیزیک پلاسما
توزیع انرژی الکترونی
سینتیک همگونی پلاسما
مدل توزیع (مارجینوا)
مدل توزیع (دروی وشتاین)
انتقال ذره باردار شده و باردار شدن فضایی
سینتیک گاز رقیق شده
شکافت انتشار دو قطبی
تجمع غلاف
سینتیک ساده غلاف
حفاظت یا پوشش «دیبای»
تجمع غلاف و آزمایش بوهم (Bohm)
آزمایش غلاف بوهم
خصوصیات میله آزمایش
شکست و نگهداری، تخلیه rf
تقریب میدان مشابه
تقریب میدان غیرمشابه
مدل سازی ئیدرودینامیک خودساخته تخلیه rf
اندازه گیری تخریب rf
مدل توازن الکترونیکی
مقایسه تخریب rf اندازه گیری شده و محاسبه شده
ارائه مدل به سبک مونت کارلوی تخلیه rf
خود با یا سنیگ rf (تجمع خودبخودی rf)
سیستم همگن (متقارن)
توزیع ولتاژ در سیستم rf
توزیع ولتاژ در پلاسمای خازنی rf متقارن و غیر متقارن
مدار معادل تخلیه rf
تنظیم الکترودها
سینتیک بمباران یونی
تخلیه اپتیکی
لم اندازه گیری حرکت
ریزنگاری تخلیه اپتیکی
فرآیند برخورد الکترون
برخورد الکترونی اکسیژن در پلاسما
4-تخلیه های مدار مستقیم (DC)
امیژن ثانویه الکترون در بمباران یونی
بمباران خنثی امیژن ثانویه
عمل فتوامیژن الکترونهای ثانوی
ناحیه کاتدی
یونیزاسیون در غلاف
توزیع انرژی یونها
الکترونهای اشعه ای (الکترونهای سریع)
ناحیه آند
مدل سازی پلاسمایی DC
5-تخلیه های Rf
فیزیک پلاسمای rf خازنی
فیزیک تخلیه RF که بصورت القایی فردوج شده اند.
فیزیک تخلیه رزونانس الکترون- سیلکوترون
فیزیک تخلیه هلیکون
پیکره بندی و سخت افزار رآکتور
همگن کردن شبکه ها و تنظیم کننده ها

فایل : 98 صفحه

فرمت : Word